工业控制器公司-晓韬科技-工业控制器

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    2024-7-18

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气体流量控制器应用领域

气体流量控制器用于对气体的流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、cvd、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。




气体流量控制器的零点漂移?

微小的零点漂移是不会影响传感器的测量精度和数值的,但是如果是零点漂移较大或用户在使用时,对零点漂移的数值有疑问,那么这时候如何解决漂移显得非常重要。 热式气体流量控制器和流量计会有零点漂移情况,零点漂移也就是管道中已经没有介质流动但流量计仍显示流量值。如果是零点出现大幅漂移,而且每次漂移差别很大,就需要检查管道内使用有大量的压力或气体残留,需要打开各种阀门,全部排空气体管路,防止设备或管路憋压。

一般造成流量计零点漂移的因素有许多,解决流量计零漂问题,工业控制器价格,首先要定期进行零点检查和调整,二是需要和工艺配合来解决。一般情况下,管道压力变化造成介质微量流动也会导致流量控制器/流量计的零点漂移,出现这种漂移时,要关闭流量控制器或流量计前段的电磁阀(流量控制器不能当做截止阀来使用),使管道内处于完全零流状态或在管道适当位置设置排气口,消除管道内的压力和气流,工业控制器,从而达到消除零点漂移。




使用气体流量控制器注意事项

1.怕粉尘, 若粉尘进到气体流量控制器内部会阻塞传感器和分流器, 导致数据误差, 所以建议在mfc进气口前加装过滤装置; 

2.怕液体和油渍进到mfc, 一旦有液体进入到mfc内部会导致无法控制,所以建议在mfc进气口前端还要加装干燥装置, 假如mfc的出口接有液体罐, 也要在mfc出口再加上单向阀, 避免液体流回; 

3.怕应用湿冷的腐蚀性气体, 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈, 导致mfc通道毁坏, 因而在应用腐蚀性气体前, 要对气体和mfc管路系统开展烘干解决;,并且在通腐蚀性气体前要检查管路的气密性,还要使用惰性气体对管路进行吹扫,然后再通腐蚀性气体,等mfc工作结束后还要使用惰性气体再次吹扫一遍管路,---管路中不会残存腐蚀性气体。

4.怕在应用强腐蚀性、有毒有害及yiranyibao气体时不按安全性标准实际操作, 这样有可能导致人身及商品毁坏和其他明显的损害。 

5.使用mfc前还需要将mfc进行通电预热,---mfc在不通气时,瞬时流量处于0的位置,工业控制器,如果不通气时,瞬时流量显示有一定的数值,表示传感器出现“零漂”现象,可以先对mfc进行调零处理,否则将影响mfc的精度。




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