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流量控制器的常见问题

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实际使用中发现，当输入的气体不同时控制显示的数值与实际不符，其实原因很简单，因为在mfc行业中，有一种参数叫cf，即气体转换系数（下面简称cf）。而mfc行业中又把n2（氮气）定义为标准气体m。n2的c值为1.00，其他的气体以氮气为中心，分布在0.1到1.4左右。cf大于1.00的代表气体是单原子气体he(---)、xe(氙)。和n2相近的气体有02（氧气）、h2（氢气）、f2（氟）等。0.5以下的有sf6、wf6、sicl4等。如果是几种气体的混合在一起的话，简单的分析其比率，用各自的cf值计算即可。

假设某台mfc是用n2标定的，气体流量控制器公司，但是实际流过的气体是he，气体流量控制器，实际的流量比n2多。各个厂家的he的cf值稍有不同，但大约都在1.4，所以简单的说就是he气相同示数时，是n2的1.4倍流量。反过来，如果n2流过he的mfc，实际的流量大约是1÷1.4=约0.71，少30%的流量。

因此控制器发现流量不准时，考虑出厂标定cf是否与你的气源相同。

流量计简介

流体的体积是流体温度和压力的函数，气体流量控制器，是一个因变量，而流体的是一个不随时间、空间温度、压力的变化而变化的量。如前所述，常用的流量计中，如孔板流量计、层流流量计、涡轮流量计、涡街流量计、电磁流量计、转子流量计、超声波流量计和椭圆齿轮流量计等的流量测量值是流体的体积流量。在科学研究、生产过程控制、管理、经济核算和贸易交接等活动中所涉及的流体量一般多为。采用上述流量计仅仅测得流体的体积流量往往不能满足人们的要求，通常还需要设法获得流体的流量。以前只能在测量流体的温度、压力、密度和体积等参数后，通过修正、换算和补偿等方法间接地得到流体的。这种测量方法，中间环节多，流量测量的准确度难以得到---和提高。随着现代科学技术的发展，相继出现了一些直接测量流量的计量方法和装置，从而推动了流量测量技术的进步。

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