智能流量控制器-智能流量控制器多少钱-晓韬科技(商家)

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    2022-6-13

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流量控制器能用比例阀代替吗?

不可以的,一般我们常说的比例阀就是电磁调节阀,虽然可以起到一定的流量调节作用,但无法做到准确,智能流量控制器,稳定的流量控制,而气体流量控制器(mfc)是在电磁调节阀的基础上增加了控制电路和流量检测传感器和比例分流,智能流量控制器厂家,是可以实现准确、稳定的流量控制,并且可以将流量信号稳定持续输出成电压信号或电流信号,智能流量控制器多少钱,比例阀---满足不了mfc能起到的作用。






气体流量控制器工作原理

气体进入进气管道接头后大部门流量流过分流器通道,其中很小一部门进入传感器内部的毛细钢管。因为分流器通道的特殊结构,可以实现这两部门气体流量成正比例关系。传感器经由预热加温,里面的温度高于进入的气流温度,此时通过毛细钢管传热和温差量热法原理丈量这一小部门气体的流量。用这种办法测出的气体流量可以忽略温度和压力的影响,将传感器测得的流量检测信号输入电路板,经由放大后输出,就完成了mfm的功能。将电路板中加入pid闭环自动控制功能,把传感器测得的流量检测信号与用户给出的设定信号进行比较,以此为基础控制调节阀,智能流量控制器,使得流量检测信号与设定信号相等,这样便实现了mfc的功能。






气体流量控制器应用领域

气体流量控制器用于对气体的流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、cvd、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。






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