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fscu可通过触摸屏、plc、pc软件等上位机系统控制---主流流量控制器(如北京七星华创、horiba、mks、brooks、bronkhorst、alicat等品牌)及电磁截止阀开关,可以读取气路中压力信号或温度信号并进行转换,从而实现气路中常用元件的程序控制,实现温压修正、mfc故障诊断、气路截止等一系列联动功能。
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