




对多数用户而言,体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用,但也有用户需要知道单位时间内流过介质的(如g/min),这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到,因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干slm)即可实现。所以说,在标准状态下的体积流量就等同于流量。
需要注意的是, 被全流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种流量单位, 不符合国内计量标准的常用的流量的国际单位(kg/min), 但是它符合国际半导体协会制定的semi。
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在工作时,铂丝检测元件用直流电流加热,温度大概比液体温度高出20°c左右,流量计的流体流经发生体时,在发生体两侧产生交变的压力差,在此压力差的作用下,流体产生吸入、吹出作用,导致热丝温度降低,引起它的电阻减小,流体系统控制单元公司,从而破坏测量电桥平衡,流体系统控制单元厂家,输出电压信号。
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使用流量控制器有四怕:
怕粉尘, 若粉尘进入流量计会堵塞传感器和分流器, 造成测量误差, 要求在进气口前加装过滤器;
第二怕液体和油污进入mfc, 会造成失控, 如果mfc的出口接有液体罐, 需要在mfc出口加上单向阀,流体系统控制单元, 防止液体回流;
第三怕使用潮湿的腐蚀性气体, 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈, 造成mfc通道损坏, 因此要求在使用腐蚀性气体前, 要对气体和mfc管路系统进行干燥处理;
第四怕在使用强腐蚀性、有毒等危害性气体时不按安全规则操作, 有可能造成产品损坏和其它更---的损失。
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