




部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源,气压很低, 用普通mfc, 不能正常工作。这时用户需要向供货商---声明, 定制低压降的流量控制器。通常可以定制工作压差低于0.01mpa的mfc, 这时mfc的工作压差范围,智能流体数字控制模块, 也会变小。
注意使用挥发性液体蒸发汽时, 不能让汽化物在mfc中结露, 结露会影响mfc的正常工作。为了防止结露, 可以对管路和mfc适当加温,智能流体数字控制模块厂家, 但mfc的工作环境温度通常不得超过50℃。如果用户要mfc的工作环境温度超过65℃以上, 需要特殊购买高温mfc产品。
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流量控制器(mfc)中设置有一个气体流量调节阀门, 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程,智能流体数字控制模块公司, 在工作的过程当中, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降, 即压差。mfc的工作压差范围通常为0.1~0.3mpa, 若压差低于值(0.1 mpa), 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3mpa), 有可能关闭时流量不能小于2%f.s。用户使用mfc时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使mfc进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。
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气体流量单位一般以sccm(standard cubic centimeter per minute,智能流体数字控制模块报价,每分钟标准毫升)和slm(standard liter per minute,每分钟标准升)来表示。这意味着,这种仪表在不同的使用条件下,指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325pa (760mm hg); 温度—0℃ (27---k)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是sccm﹑slm不同于ml/min﹑l/min 之处。
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