




流量控制器(mfc)是用来控制气体流量的,流量计(mfm)是用来测量气体流量,如果你需要检测气体流量需要用mfm。 当然mfc还是有检测方法的,如果通过气体流量比较大,压比较大,可以为mfc设定一个大流量,mfc会反馈一个值,这个值就是气体的流量。 如果流量比较小,压力比较小mfc就不能测出来了,因为mfc压损通常是比较大的,如果气体流量比较小,压力比较小就没办法测量了,就需要抵压损的mfm。

通常气体流量控制器接触工作气体的湿材料为316l不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的mfc原则上可以用于任何气体, 包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于---化硼、hf等强腐蚀性气体和mocvd使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的mfc。
由于金属密封的mfc价格较高, 通常要求不高的场合, 均采用橡胶密封的mfc。如果不特殊声明, mfc都采用氟橡胶密封, 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体, 例如可以用于hcl等卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体,气体控制器厂家, 需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶, 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; 溶剂汽氛(c3h6o、c6h5ch3等)——需要采用硅橡胶; 三---化硼、hf等——需要采用---橡胶。


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