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体积流量的表示方法

对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的（如g/min），这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数， 可以方便地查到，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。所以说，在标准状态下的体积流量就等同于流量。

需要注意的是， 被全流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种流量单位， 不符合国内计量标准的常用的流量的国际单位（kg/min）， 但是它符合国际半导体协会制定的semi。

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流体控制

流体控制是利用流体的各种控制元件（各种泵、阀门、油缸）及液压系统附件（过滤器、管路接头、液位计、压力仪表等），组成控制闭式回路，以进行自动控制。

液压控制 液压控制用油液作为工作介质，故能把由于功率的损耗而产生的热量，从发生的地方带到别处，这样在一定的功率情况下，气体流量控制模块厂家，可以---减小部件的尺寸；从负载的影响看，液压系统具有机械上的刚性，用在闭环系统中，定位刚度较大，位置误差较小；与机械机构相比，液压执行器的响应速度较高，能高速启动、制动与反向，气体流量控制模块，同时其力矩—惯量比也较大，因而其加速能力较强；液压传动易实现无级调速，具有自身润滑等优点。

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