




部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源,气压很低, 用普通mfc, 不能正常工作。这时用户需要向供货商---声明, 定制低压降的流量控制器。通常可以定制工作压差低于0.01mpa的mfc, 这时mfc的工作压差范围, 也会变小。
注意使用挥发性液体蒸发汽时, 不能让汽化物在mfc中结露,智能流体数字控制模块厂家, 结露会影响mfc的正常工作。为了防止结露, 可以对管路和mfc适当加温, 但mfc的工作环境温度通常不得超过50℃。如果用户要mfc的工作环境温度超过65℃以上, 需要特殊购买高温mfc产品。
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对多数用户而言,体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用,但也有用户需要知道单位时间内流过介质的(如g/min),这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到,因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干slm)即可实现。所以说,智能流体数字控制模块,在标准状态下的体积流量就等同于流量。
需要注意的是,智能流体数字控制模块, 被全流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种流量单位, 不符合国内计量标准的常用的流量的国际单位(kg/min), 但是它符合国际半导体协会制定的semi。
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fscu(flow system control unit)是北京晓韬科技有限公司技术团队针对各大高校、科研院所的不同研究方向,为其---的气体、液体流量控制系统单元,目前大量应用于材料、催化、环境、化学、物理等相关领域。
fscu可通过触摸屏、plc、pc软件等上位机系统控制---主流流量控制器(如北京七星华创、horiba、mks、brooks、bronkhorst、alicat等品牌)及电磁截止阀开关,可以读取气路中压力信号或温度信号并进行转换,从而实现气路中常用元件的程序控制,实现温压修正、mfc故障诊断、气路截止等一系列联动功能。
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