气体流量控制器厂家-北京晓韬科技有限公司

气体流量控制器工作压差范围是个什么概念?

气体流量控制器在进出气接头两端有一定的压力差下才能正产工作，mfc的工作压差范围通常为0.1~0.3mpa，气体流量控制器价格， 若压差小于0.1 mpa， 有可能操控流量达不上满量程值; 若高过0.3mpa，气体流量控制器， 有可能在关闭状态下仍有气体通过，即电磁阀漏气。客户应用mfc时， 无论客户工作的反应腔室是真空环境还是是髙压状态，气体流量控制器厂家， 都应---mfc进出气两端的压差维持在所规定压差范围内， 而且压差要相持续稳定。

气体流量控制器流速和流量之间的关系

流量通常分为体积流量、流量和重量流量三种：

体积流量的公式为q=vs，q代表气体的体积流量（m/s），气体流量控制器，v代表气体的平均流速（m/s），s代表气路管道的横截面积（㎡）。

流量则是m=ρq=ρvs，m代表气体的流量（kg/s），ρ代表气体的密度（kg/m），q代表气体的体积流量（m/s）。

重量流量则是g=γq=ρgvs=gm，g代表气体的重量流量（kgf/s），γ代表气体的介质重度（n/㎡），m代表气体的流量（kg/s）。

气体流量控制器应用领域

气体流量控制器用于对气体的流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、cvd、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。

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