




fscu(flow system control unit)是北京晓韬科技有限公司技术团队针对高校、研究院、科研型企业研发设计,fscu 自动化程度高、于高集成度、数据采集。适用于多种气体、液体自动化控制,在多种应用领域为其---的气体、液体流量控制系统单元,目前大量应用于材料、催化、环境、化学、物理等相关科研领域。
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流量控制器(mfc)中设置有一个气体流量调节阀门,流体系统控制单元公司, 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作的过程当中, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降,流体系统控制单元多少钱, 即压差。mfc的工作压差范围通常为0.1~0.3mpa, 若压差低于值(0.1 mpa), 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3mpa), 有可能关闭时流量不能小于2%f.s。用户使用mfc时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使mfc进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。
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对多数用户而言,体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用,但也有用户需要知道单位时间内流过介质的(如g/min),这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到,因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干slm)即可实现。所以说,在标准状态下的体积流量就等同于流量。
需要注意的是, 被全流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种流量单位, 不符合国内计量标准的常用的流量的国际单位(kg/min), 但是它符合国际半导体协会制定的semi。
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