气体进入进气管道接头后大部门流量流过分流器通道，其中很小一部门进入传感器内部的毛细钢管。因为分流器通道的特殊结构，可以实现这两部门气体流量成正比例关系。传感器经由预热加温，里面的温度高于进入的气流温度，此时通过毛细钢管传热和温差量热法原理丈量这一小部门气体的流量。用这种办法测出的气体流量可以忽略温度和压力的影响，将传感器测得的流量检测信号输入电路板，气体流量控制器，经由放大后输出，就完成了mfm的功能。将电路板中加入pid闭环自动控制功能，把传感器测得的流量检测信号与用户给出的设定信号进行比较，以此为基础控制调节阀，使得流量检测信号与设定信号相等，这样便实现了mfc的功能。
气体流量控制器在进出气接头两端有一定的压力差下才能正产工作，mfc的工作压差范围通常为0.1~0.3mpa， 若压差小于0.1 mpa， 有可能操控流量达不上满量程值; 若高过0.3mpa， 有可能在关闭状态下仍有气体通过，即电磁阀漏气。客户应用mfc时， 无论客户工作的反应腔室是真空环境还是是髙压状态， 都应---mfc进出气两端的压差维持在所规定压差范围内， 而且压差要相持续稳定。
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