气体流量单位一般以sccm（standard cubic centimeter per minute，每分钟标准毫升）和slm（standard liter per minute，气体流量计控制单元公司，每分钟标准升）来表示。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325pa (760mm hg); 温度—0℃ (27---k)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm﹑slm不同于ml/min﹑l/min 之处。
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通常气体流量控制器接触工作气体的湿材料为316l不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等， 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的mfc原则上可以用于任何气体， 包括各种腐蚀性气体和特种气体。
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气动控制与液压控制相比，动作迅速、方便，使用的元件和工作介质成本低，便于现有机器设备的自动化改装，已经在国际上得到很大发展，成为---之一。气动控制的缺点，是运动不平稳，有噪音，控制元件的体积较大。
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