气体流量单位一般以sccm（standard cubic centimeter per minute，每分钟标准毫升）和slm（standard liter per minute，智能流体数字控制模块报价，每分钟标准升）来表示。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325pa (760mm hg); 温度—0℃ (27---k)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm﹑slm不同于ml/min﹑l/min 之处。
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部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源，气压很低，智能流体数字控制模块价格， 用普通mfc， 不能正常工作。这时用户需要向供货商---声明， 定制低压降的流量控制器。通常可以定制工作压差低于0.01mpa的mfc， 这时mfc的工作压差范围， 也会变小。
注意使用挥发性液体蒸发汽时， 不能让汽化物在mfc中结露， 结露会影响mfc的正常工作。为了防止结露， 可以对管路和mfc适当加温， 但mfc的工作环境温度通常不得超过50℃。如果用户要mfc的工作环境温度超过65℃以上， 需要特殊购买高温mfc产品。
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通常气体流量控制器接触工作气体的湿材料为316l不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等， 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的mfc原则上可以用于任何气体， 包括各种腐蚀性气体和特种气体。
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