




气动控制与液压控制相比,动作迅速、方便,使用的元件和工作介质成本低,便于现有机器设备的自动化改装,已经在国际上得到很大发展,成为---之一。气动控制的缺点,是运动不平稳,有噪音,控制元件的体积较大。
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流量控制器(mfc)中设置有一个气体流量调节阀门, 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作的过程当中, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降,气体流量控制模块, 即压差。mfc的工作压差范围通常为0.1~0.3mpa,气体流量控制模块多少钱, 若压差低于值(0.1 mpa), 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3mpa), 有可能关闭时流量不能小于2%f.s。用户使用mfc时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使mfc进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。
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气体流量单位一般以sccm(standard cubic centimeter per minute,每分钟标准毫升)和slm(standard liter per minute,每分钟标准升)来表示。这意味着,这种仪表在不同的使用条件下,指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325pa (760mm hg); 温度—0℃ (27---k)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是sccm﹑slm不同于ml/min﹑l/min 之处。
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