




1,气体必须洁净且没有颗粒物, 没有液体,控制器, 这就要求在mfc/mfm的上游气路中安装干燥器和过滤器。
2,输入的气体压力必须符合产品的耐压标准, 不能超过该产品要求的较大压力。
3、产品的使用气体必须与用户订货选择的密封材料相适应,控制器厂家, 用户有责任按照可用的安全规章使用每种气体。不正确的使用产品会使保修无效,还容易产生危险。

气体进入进气管道接头后大部门流量流过分流器通道,其中很小一部门进入传感器内部的毛细钢管。因为分流器通道的特殊结构,控制器公司,可以实现这两部门气体流量成正比例关系。传感器经由预热加温,里面的温度高于进入的气流温度,此时通过毛细钢管传热和温差量热法原理丈量这一小部门气体的流量。用这种办法测出的气体流量可以忽略温度和压力的影响,将传感器测得的流量检测信号输入电路板,经由放大后输出,就完成了mfm的功能。将电路板中加入pid闭环自动控制功能,把传感器测得的流量检测信号与用户给出的设定信号进行比较,以此为基础控制调节阀,使得流量检测信号与设定信号相等,这样便实现了mfc的功能。

(1) 流量的测量和---不因温度或负载的变化而产生误差。 针对大部分流量控制系统来讲,难以防止系统的工作压力起伏及自然环境和物质的温度转变。针对一般的流量计,工作压力及温度的起伏将造成很大的偏差;针对流量计 / 流量控制器,则一般可以忽略。
(2) 测量---的自动化技术 流量计 / 流量控制器可以将流量测量值以规范电子信号輸出。那样非常容易实现对流量的数据显示﹑积累流量﹑数据信息自动保存﹑电脑管理等。对流量控制器来讲,还能够完成流量的自动控制系统。通常,控制器, 模拟的mfc/mfm数据信号为0~ 5v或4~20ma, 数字式mfc/mfm还装有rs232或rs485数据串行通信通信口, 能十分便捷地与电脑联接, 开展自动控制系统。
(3) 定量---流量 流量控制器可以控制汽体的给定量,这对许多加工工艺全过程的流量---﹑针对不一样汽体的控制算法等尤其有效。
(4) 应用领域宽 有很宽的压力范畴,可以适用真空环境和高压环境; 可以适用多种气体(包含一些腐蚀汽体,如hcl)

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