





气体流量控制器在进出气接头两端有一定的压力差下才能正产工作,mfc的工作压差范围通常为0.1~0.3mpa, 若压差小于0.1 mpa, 有可能操控流量达不上满量程值; 若高过0.3mpa, 有可能在关闭状态下仍有气体通过,即电磁阀漏气。客户应用mfc时,热式控制器, 无论客户工作的反应腔室是真空环境还是是髙压状态,热式控制器厂家, 都应---mfc进出气两端的压差维持在所规定压差范围内, 而且压差要相持续稳定。

流量控制器(mfc)是用来控制气体流量的,流量计(mfm)是用来测量气体流量,如果你需要检测气体流量需要用mfm。 当然mfc还是有检测方法的,热式控制器,如果通过气体流量比较大,压比较大,热式控制器多少钱,可以为mfc设定一个大流量,mfc会反馈一个值,这个值就是气体的流量。 如果流量比较小,压力比较小mfc就不能测出来了,因为mfc压损通常是比较大的,如果气体流量比较小,压力比较小就没办法测量了,就需要抵压损的mfm。

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