




气体流量控制器用于对气体的流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备,气体控制器厂家,如扩散、氧化、外延、cvd、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。

1.怕粉尘, 若粉尘进到气体流量控制器内部会阻塞传感器和分流器, 导致数据误差, 所以建议在mfc进气口前加装过滤装置;
2.怕液体和油渍进到mfc, 一旦有液体进入到mfc内部会导致无法控制,所以建议在mfc进气口前端还要加装干燥装置, 假如mfc的出口接有液体罐, 也要在mfc出口再加上单向阀, 避免液体流回;
3.怕应用湿冷的腐蚀性气体, 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈, 导致mfc通道毁坏, 因而在应用腐蚀性气体前, 要对气体和mfc管路系统开展烘干解决;,并且在通腐蚀性气体前要检查管路的气密性,还要使用惰性气体对管路进行吹扫,然后再通腐蚀性气体,等mfc工作结束后还要使用惰性气体再次吹扫一遍管路,---管路中不会残存腐蚀性气体。
4.怕在应用强腐蚀性、有毒有害及yiranyibao气体时不按安全性标准实际操作, 这样有可能导致人身及商品毁坏和其他明显的损害。
5.使用mfc前还需要将mfc进行通电预热,气体控制器,---mfc在不通气时,气体控制器,瞬时流量处于0的位置,如果不通气时,气体控制器多少钱,瞬时流量显示有一定的数值,表示传感器出现“零漂”现象,可以先对mfc进行调零处理,否则将影响mfc的精度。


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