




流量控制器由流量传感器、分流器、通道、电磁调节阀和电路板等部分组成。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与流量控制器配套的流量积算仪上设置有稳压电源, 设定电位器,气体流量计控制器报价, 和三位阀控开关等。

流量通常分为体积流量、流量和重量流量三种:
体积流量的公式为q=vs,q代表气体的体积流量(m/s),气体流量计控制器公司,v代表气体的平均流速(m/s),气体流量计控制器,s代表气路管道的横截面积(㎡)。
流量则是m=ρq=ρvs,气体流量计控制器,m代表气体的流量(kg/s),ρ代表气体的密度(kg/m),q代表气体的体积流量(m/s)。
重量流量则是g=γq=ρgvs=gm,g代表气体的重量流量(kgf/s),γ代表气体的介质重度(n/㎡),m代表气体的流量(kg/s)。

气体流量控制器在进出气接头两端有一定的压力差下才能正产工作,mfc的工作压差范围通常为0.1~0.3mpa, 若压差小于0.1 mpa, 有可能操控流量达不上满量程值; 若高过0.3mpa, 有可能在关闭状态下仍有气体通过,即电磁阀漏气。客户应用mfc时, 无论客户工作的反应腔室是真空环境还是是髙压状态, 都应---mfc进出气两端的压差维持在所规定压差范围内, 而且压差要相持续稳定。

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