




fscu(flow system control unit)是北京晓韬科技有限公司技术团队针对各大高校、科研院所的不同研究方向,为其---的气体、液体流量控制系统单元,目前大量应用于材料、催化、环境、化学、物理等相关领域。
fscu可通过触摸屏、plc、pc软件等上位机系统控制---主流流量控制器(如北京七星华创、horiba、mks、brooks、bronkhorst、alicat等品牌)及电磁截止阀开关,可以读取气路中压力信号或温度信号并进行转换,从而实现气路中常用元件的程序控制,实现温压修正、mfc故障诊断、气路截止等一系列联动功能。
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流量控制器(mfc)中设置有一个气体流量调节阀门, 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作的过程当中, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降, 即压差。mfc的工作压差范围通常为0.1~0.3mpa,气体流量计数字控制模块, 若压差低于值(0.1 mpa), 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3mpa), 有可能关闭时流量不能小于2%f.s。用户使用mfc时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使mfc进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。
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通常气体流量控制器接触工作气体的湿材料为316l不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等,气体流量计数字控制模块多少钱, 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的mfc原则上可以用于任何气体, 包括各种腐蚀性气体和特种气体。
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