气动控制与液压控制相比，动作迅速、方便，使用的元件和工作介质成本低，气体流量计控制单元，便于现有机器设备的自动化改装，已经在国际上得到很大发展，成为---之一。气动控制的缺点，气体流量计控制单元报价，是运动不平稳，有噪音，控制元件的体积较大。
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通常气体流量控制器接触工作气体的湿材料为316l不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等， 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的mfc原则上可以用于任何气体， 包括各种腐蚀性气体和特种气体。
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将 fscu 嵌入到应用系统中，fscu 可通过触摸屏、plc、pc 软件等上位机系统控制---主流流量控制器（如北京七星华创、horiba、mks、brooks、bronkhorst、alicat 等品牌）及截止阀，气体流量计控制单元，可以读取气路中压力信号或温度信号并进行转换，从而实现气路中常用元件的程序控制，实现温压修正、mfc故障诊断、气路截止等一系列联动功能。
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