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气体流量控制器使用注意？

1 加装过滤器

使用气体必须纯净干燥，切忌粉尘、液体和油污。---时加装过滤器，如果流量计出口接有液体源瓶，应在流量计出口加装单向阀，空气流量控制器，防止液体回流损坏流量计。

2 使用腐蚀性气体

流量计通道采用的材料为：sus316l(00cr17ni14mo2)，sus417j1（00cr30mo2）， 氟橡胶等耐蚀材料。在用户系统无汽水、低泄露、勤清洗、使用得当的条件下，也可以用于控制一般的腐蚀性气体。其他使用强腐蚀性气体和溶剂气体时，应在定货时声明，空气流量控制器，使用特殊腐蚀性气体，所有密封材料都要作相应改变。

3 安装位置问题

本控制器安装时建议保持安装面水平，但对位置并不---敏感，可以任意位置安装，非水平位置安装时若发现零点偏移，可以调整零点后在工作。

4 阀口密封问题

流量控制器的电磁阀是调节阀， 不是截止阀， 不能当截止阀使用， 用户应另配截止阀。---是用户使用腐蚀性气体，通常应该在流量控制器进出气口各加一个截止阀，以---工作安全。长期工作后， 如果控制器阀口的漏气率在2%f.s以内， 是属于正常情况。如果漏气大于满量程的2%， 则应进行维修。

5 标定与不同气体的换算

本流量控制器出厂通常用氮气(n2)标定。如果要求用使用气体标定，需要在订货时与销售人员---申明。用氮气标定的流量控制器用户使用其它气体时，可以通过附录的转换系数进行换算。

流量控制器能用比例阀代替吗？

不可以的，一般我们常说的比例阀就是电磁调节阀，虽然可以起到一定的流量调节作用，但无法做到准确，稳定的流量控制，而气体流量控制器（mfc）是在电磁调节阀的基础上增加了控制电路和流量检测传感器和比例分流，是可以实现准确、稳定的流量控制，并且可以将流量信号稳定持续输出成电压信号或电流信号，比例阀---满足不了mfc能起到的作用。

气体流量控制器的密封材料如何选择？

流量控制器可以用于控制各种气体，空气流量控制器报价， 包括腐蚀性气体和特殊气体， 但是要注意， 对于使用腐蚀性气体和特殊气体， 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时， 需要向供货厂商特殊声明使用气体， 以免因为选型或选择密封材料错误，空气流量控制器价格， 造成---损失。

通常气体流量控制器接触工作气体的湿材料为316l不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等， 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的mfc原则上可以用于任何气体， 包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于---化硼、hf等强腐蚀性气体和mocvd使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的mfc。

由于金属密封的mfc价格较高， 通常要求不高的场合， 均采用橡胶密封的mfc。如果不特殊声明， mfc都采用氟橡胶密封， 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体， 例如可以用于hcl等卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体， 需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶， 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; 溶剂汽氛(c3h6o、c6h5ch3等)——需要采用硅橡胶; 三---化硼、hf等——需要采用---橡胶。

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