




对多数用户而言,体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用,但也有用户需要知道单位时间内流过介质的(如g/min),这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数,气体流量计数字控制模块价格, 可以方便地查到,因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干slm)即可实现。所以说,在标准状态下的体积流量就等同于流量。
需要注意的是, 被全流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种流量单位, 不符合国内计量标准的常用的流量的国际单位(kg/min), 但是它符合国际半导体协会制定的semi。
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流量控制器的工作压差范围通常比较小, 要在高压条件下正常使用需要---注意三点:1, 是要选择耐压符合要求的mfc; 2,气体流量计数字控制模块报价, 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 3, 要在mfc气路前面加减压阀, 稳定入口气压, 在mfc下游加背压阀, 稳定反应室和mfc出口的气压, 适当调节减压阀和背压阀, 要---mfc的工作压差不会超过规定的范围。只要做到以上三点, mfc就能够在高压条件下稳定工作。
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流量控制器可以用于控制各种气体, 包括腐蚀性气体和特殊气体, 但是要注意, 对于使用腐蚀性气体和特殊气体,气体流量计数字控制模块, 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时, 需要向供货厂商特殊声明使用气体, 以免因为选型或选择密封材料错误, 造成---损失。
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