




用户可以明确地知道气路原理与气路基本构成,多点动态气体配气仪,并可通过手动方式,控制内部截止阀(v1-v6的开关)
inlet1 - 设备所用背景气,一般为空气或氮气。
inlet2 – 原料气,用户可通过列表选择多种气体种类。
初级储气罐 - 用于二次配气时储存初级配比出的一定浓度气体,系统自动维持压力在0.5mpa以下,在使用二级配气条件下,初级储气罐自动维持压力在0.45-0.5mpa上下,用以满足二级配气下mfc4的正常工作使用压差。
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可广泛应用于气体浓度传感器、校准、测试研究,在新材料及特种材料的研究及制备方面,多配套于cvd使用,等离子刻蚀、催化评价、脱硫---、气体焊接等设备中也大量配套使用,大量在行业中干扰实验——动态混合矩阵实验法中使用,主要是对气源co2、so2、n2进行动态混合配比,为试验提供一定流量范围或浓度范围的混合气体。
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电磁阀原理的配气仪的优点是气体适用范围比较广,精度高(可大1%),操作比较简单,价格相对较低。常规气体,多点动态气体配气仪报价,无需经过特殊设置或换算,就可以直接使用。对于气体种类和所要配比的浓度,在仪器出厂前不需要---。
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