




气体流量控制器用于对气体的流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备,工业控制器多少钱,如扩散、氧化、外延、cvd、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。

可以使用惰性气体接到mfc进气端,然后将出气口接一根软管再通进水里,如果软管口有气泡冒出,证明mfc是有气体通过的,不过需要注意防止液体倒吸进mfc内,也可以用手将出气口堵死,观察瞬时流量是否有下降,如果有下降,也证明有气体通过,此时堵住出气口的手指也能感受到一定的压力。

流量控制器由流量传感器、分流器、通道、电磁调节阀和电路板等部分组成。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较,工业控制器, 再将差值信号放大后去控制调节阀门,四川工业控制器,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与流量控制器配套的流量积算仪上设置有稳压电源, 设定电位器, 和三位阀控开关等。

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