




流量控制器的工作压差范围通常比较小, 要在高压条件下正常使用需要---注意三点:1, 是要选择耐压符合要求的mfc; 2, 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 3, 要在mfc气路前面加减压阀, 稳定入口气压, 在mfc下游加背压阀,气体流量计控制单元, 稳定反应室和mfc出口的气压, 适当调节减压阀和背压阀, 要---mfc的工作压差不会超过规定的范围。只要做到以上三点, mfc就能够在高压条件下稳定工作。
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部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源,气压很低, 用普通mfc, 不能正常工作。这时用户需要向供货商---声明,气体流量计控制单元, 定制低压降的流量控制器。通常可以定制工作压差低于0.01mpa的mfc, 这时mfc的工作压差范围, 也会变小。
注意使用挥发性液体蒸发汽时, 不能让汽化物在mfc中结露, 结露会影响mfc的正常工作。为了防止结露, 可以对管路和mfc适当加温, 但mfc的工作环境温度通常不得超过50℃。如果用户要mfc的工作环境温度超过65℃以上, 需要特殊购买高温mfc产品。
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流量控制器(mfc)中设置有一个气体流量调节阀门, 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作的过程当中, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降, 即压差。mfc的工作压差范围通常为0.1~0.3mpa, 若压差低于值(0.1 mpa), 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3mpa),气体流量计控制单元厂家, 有可能关闭时流量不能小于2%f.s。用户使用mfc时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使mfc进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。
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