




流量通常分为体积流量、流量和重量流量三种:
体积流量的公式为q=vs,气体控制器公司,q代表气体的体积流量(m/s),v代表气体的平均流速(m/s),气体控制器,s代表气路管道的横截面积(㎡)。
流量则是m=ρq=ρvs,m代表气体的流量(kg/s),ρ代表气体的密度(kg/m),q代表气体的体积流量(m/s)。
重量流量则是g=γq=ρgvs=gm,g代表气体的重量流量(kgf/s),γ代表气体的介质重度(n/㎡),m代表气体的流量(kg/s)。

气体流量控制器在进出气接头两端有一定的压力差下才能正产工作,mfc的工作压差范围通常为0.1~0.3mpa, 若压差小于0.1 mpa, 有可能操控流量达不上满量程值; 若高过0.3mpa, 有可能在关闭状态下仍有气体通过,即电磁阀漏气。客户应用mfc时,气体控制器, 无论客户工作的反应腔室是真空环境还是是髙压状态, 都应---mfc进出气两端的压差维持在所规定压差范围内, 而且压差要相持续稳定。

(1) 注意选择正确的品牌
一般应当衡量生产厂家的产品﹑销售价格﹑售后服务﹑技术水平﹑产品特点﹑生产规模﹑企业信誉等因素
(2) 注意选择正确的工作压力指标
不同的产品工作压力指标可能不同,注意选择适合自己的产品。
(3) 注意选择合适气体、流量规格、精度和接头形式和接口尺寸。
除了气体种类,流量范围外准确度和接头形式也很重要,常见的接头形式有卡套接头和vcr接头,接口尺寸有公制φ3、φ6、φ10;英制1/8、1/4、1/2英寸的和法兰接头。具体接口尺寸需要根据流量范围来定制。

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