




流量通常分为体积流量、流量和重量流量三种:
体积流量的公式为q=vs,q代表气体的体积流量(m/s),v代表气体的平均流速(m/s),智能流量控制器,s代表气路管道的横截面积(㎡)。
流量则是m=ρq=ρvs,m代表气体的流量(kg/s),ρ代表气体的密度(kg/m),q代表气体的体积流量(m/s)。
重量流量则是g=γq=ρgvs=gm,智能流量控制器报价,g代表气体的重量流量(kgf/s),γ代表气体的介质重度(n/㎡),m代表气体的流量(kg/s)。

气体流量控制器用于对气体的流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、cvd、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。

气体质
流量控制器不仅具备流量计的作用,更主要的是,它能控制气体流量,即客户可按照需求设定流量,智能流量控制器厂家,mfc会自动地将流量稳定在设定值上,即使系统工作压力有起伏或自然环境温度有转变,也不会使其偏移设定值。简易地说,流量控制器可以看成是一个稳流设备, 是一个可以手动式设置或与电子计算机连接自动控制的气体稳流设备。

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