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    2024-3-18

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气体流量控制器对于气体的要求

1,气体必须洁净且没有颗粒物, 没有液体, 这就要求在mfc/mfm的上游气路中安装干燥器和过滤器。

2,输入的气体压力必须符合产品的耐压标准, 不能超过该产品要求的较大压力。

3、产品的使用气体必须与用户订货选择的密封材料相适应, 用户有责任按照可用的安全规章使用每种气体。不正确的使用产品会使保修无效,还容易产生危险。




气体流量控制器工作原理

气体进入进气管道接头后大部门流量流过分流器通道,其中很小一部门进入传感器内部的毛细钢管。因为分流器通道的特殊结构,可以实现这两部门气体流量成正比例关系。传感器经由预热加温,里面的温度高于进入的气流温度,此时通过毛细钢管传热和温差量热法原理丈量这一小部门气体的流量。用这种办法测出的气体流量可以忽略温度和压力的影响,将传感器测得的流量检测信号输入电路板,热式控制器,经由放大后输出,热式控制器报价,就完成了mfm的功能。将电路板中加入pid闭环自动控制功能,把传感器测得的流量检测信号与用户给出的设定信号进行比较,以此为基础控制调节阀,使得流量检测信号与设定信号相等,这样便实现了mfc的功能。




如何通过流量控制器判断有没有气体通过?

可以使用惰性气体接到mfc进气端,然后将出气口接一根软管再通进水里,如果软管口有气泡冒出,证明mfc是有气体通过的,不过需要注意防止液体倒吸进mfc内,也可以用手将出气口堵死,观察瞬时流量是否有下降,如果有下降,也证明有气体通过,此时堵住出气口的手指也能感受到一定的压力。




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